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激光调阻机应用于压力传感器:
用于扩散硅压力传感的厚膜温度补偿电路,可通过激光调阻工艺实现。通过扩散硅温度试验,将其温度补偿的电阻值直接导入到激光调阻机中,激光调阻机自动读取对应的补偿数据进行自动激光调阻,可实现大批量的扩散硅压力传感器的工业生产。
采用厚膜压阻技术的压力传感器,利用激光调阻工艺实现零位的调阻,可达到零位输出小于0.001v。
激光调阻机
是由计算机控制激光的运动,利用高能量的激光脉冲作用于电阻材料上,电阻材料吸收光能后被迅速加热和汽化,材料被蒸发掉,在电阻上形成一个圆形斑点;当一连串部分重叠的激光脉冲打在电阻材料上就会形成一个切口,采用适当的切口形状和长度就可将电阻修调到设定的标称值。使用激光调阻加工精度高,重复精度好,具有速度快、,找电子尺调阻加工多家供应商合作,易于实现整个加工过程自动化。

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